最近在接觸一家做IBS和IBE設(shè)備的日本廠家。他們想調(diào)查一下中國(guó)市場(chǎng)有沒有前途。 K{}U[@_tS  
我這幾天去了上海慕尼黑光電展，看了一些IBS和IBE的產(chǎn)品，基本上產(chǎn)品的領(lǐng)域很窄。 `N_elf://n  
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那家廠家做的IBS的基本情況是這樣的： cViEvS r  
使用的是美國(guó)產(chǎn)的離子源（考夫曼博士自家的產(chǎn)品，基本和VEECO一樣），所以和VEECO一樣有美國(guó)輸出限制。 -Cjc~{B>7X  
實(shí)際大概做了十幾臺(tái)，基本上是在日本的一些研究院，臺(tái)灣的某個(gè)客戶買了幾臺(tái)做BPF。 \G?GX  
大概能做100mm直徑的工件一枚，工件厚度最大10mm。 xm}9(EJ  
鍍膜能做200多層，每層大概幾個(gè)納米。 )")_aA