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中科院微電子所在納米森林的微器件應(yīng)用研究中獲進展

發(fā)布：cyqdesign 2021-03-22 23:17 閱讀：2952

近日，中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發(fā)中心在納米森林的微機電系統(tǒng)（MEMS）傳感器應(yīng)用研究上取得重要進展。