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摘要 xc<eU`-'b ;@YF}%!+W 白光干涉測量法是一種非接觸式技術(shù),用于精確測量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設(shè)置和氙燈光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量。考慮到光源的光譜特性,即有限的相干長度,結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現(xiàn)干涉圖案。 ~7 L)n <bXWkj 2G}7R5``9 1. 建模任務(wù) D)ne *}, xnuv4Z}]t 2. 干涉條紋的變化 p2c=;5|/Q ecqz@*d& #JR
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