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概述 ? )X 0l 該系統(tǒng)由一個聚光鏡、一個傾斜球體和一個Schwartzchild設計的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個中心波瓣和側波瓣。如下圖所示： 8`Ih>
D c 4c0 =\v 掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產生旁瓣 ,%6!8vX 窄條產生寬的旁瓣，僅部分通過中繼入口瞳孔 $MhfGMk!' 寬條產生較窄的旁瓣，更容易通過中繼入口瞳孔 N3"O#C 部分通過旁瓣會產生部分解析 ]O]6O%.ao
N z 1u:D] 系統(tǒng)描述 LYhj I
@kBy|5 本例介紹了如何采用全局衍射分析對部分相干進行建模。如上圖所示，整體裝置是一個科勒照明系統(tǒng)，其中有一個聚光元件能夠將非相干光源的光進入轉像透鏡的孔徑中。在一個經典的科勒照明系統(tǒng)中，點光源通過一個聚光鏡成像在轉像系統(tǒng)的光瞳中。光源照亮物體掩膜面，并在最后的成像面上得到適當?shù)姆糯蟆榱藢馐侠聿蓸�，光源放在物的共軛點處，這樣在光源面上，點光源將是有一定維度的，而不是像理想點光源那樣，會引起混沌。對一個具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。如果光源足夠大，大到可以填滿轉像透鏡的孔徑的話，所成的像將是非相干的。 'A2^K5`3 yzWVUqtXm
模擬結果 QN)EPS:y
B :oE&Ahh{ 三柵條圖樣的部分相干成像 Cs9o_Z~ <aSjK# 兩組七柵條圖樣建模對比 t.X8c/,;g ;XagLy p.)IdbC`B
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