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鍍膜傾斜光柵通過VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運行中(Parameter Run)進行分析。 Q'f!392| (kpn"]^' 關(guān)鍵詞:光柵,鍍膜,傾斜光柵,可編程光柵,參數(shù)運行(Parameter Run) X[L6Av ~n)!e#p 所需工具:Grating Toolbox Basic Yjv[rH5v }-3|
v<d 相關(guān)Tutorials:G.001; G.014 wRgh`Hc\} 建模任務(wù) sOc<'):TK e:9CD- 理想平面波照射 Vp = zWiMl.[ ld~8g, FhJ8}at+e :t
&ib}v d*%-r2K 鍍膜傾斜光柵 目標平面 L8<Yk`jx fH_G;#q 周期:10um az7<@vSXi 厚度:10um P0m;AqS#R 傾斜角度:20度 *ey<R
1jdv<\U 光柵的參數(shù) #(o 'G4T 0-
GA,I_ —傾斜角度 1—(光柵)前面的介質(zhì) ()=u#y —填充因子 2—后面的介質(zhì) 7g(,$5 —膜層厚度 3—膜層材料 QcyYTg4i —光柵厚度 4l! ^"=rh i2or/(u` WNkAI9B
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