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摘要 cng 1k
, =#'?>Kq 高NA物鏡廣泛用于光學(xué)光刻，顯微鏡等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對(duì)這種鏡頭進(jìn)行光線(xiàn)追跡和場(chǎng)追跡分析非常方便。通過(guò)場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱(chēng)焦斑，這源于矢量效應(yīng)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，可以讓用戶(hù)深入了解矢量效應(yīng)。 uJi|@{V 44!bwXz8  h>4\I;Ij .^/OL}/~< 建模任務(wù) ! aL L|}S 1&U U6|
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