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摘要 Qh?q0VKU^ G@ed2T F-Theta鏡頭通常設計用于在激光掃描系統(tǒng)中以提高系統(tǒng)性能。利用這種透鏡,目標平面上的聚焦光斑位移量與系統(tǒng)的焦距和掃描角度成比例。使其成為基于galvo-scanner激光材料處理系統(tǒng)的標準鏡頭。利用VirtualLab中的掃描光源,我們通過測量實際光斑位置和期望值之間的偏差以及不同角度的光斑尺寸來分析F-Theta鏡頭的性能。 75I*&Wl =]U[
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