一、電控柜的操作 -~(0O  
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1.      開(kāi)水泵、氣源 k lP{yxU'n  
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2.      開(kāi)總電源 vu_>U({. T  
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3.      開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。 %2@ Tj}xa  
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4.      開(kāi)機(jī)械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。 mc0sdb,c$