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    [分享]用于微結構晶片檢測的光學系統(tǒng) [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-06-08
    摘要 3`^@ymY  
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    在半導體產業(yè)中，晶片檢測系統(tǒng)用于檢查晶片上的缺陷并找到它們的位置。為保證微結構的圖像解析度，檢測系統(tǒng)常使用一個高NA的物鏡，工作在紫外波長范圍。作為一個例子，模擬了一個完整的晶片檢測系統(tǒng)，包括高NA聚焦效應和光與微結構的互作用，并演示了圖像的形成。 8o~ NJ 6  
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