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摘要
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O"i3>C zq1mmFIO |wox1Wt|E }X;U|]d 干涉測量法是一項用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機(jī)械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 24Z]%+b*E XJ!(F#zc 建模任務(wù) q{die[J IMnP[WA! *n(> ^ .$",
*d 由于組件傾斜引起的干涉條紋 $KjTa#[RX7 $jd<v1"o 3`HnLD/ `(0LK%w 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 kl1Y] ?z} @c'|Iqy` TP1S[`nR 5FC4@Ms` 文件信息 cgC\mM4Nla U-0#0}
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