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摘要 $5/\Z eJf>"IF- 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時(shí)才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 ~x+Y kq0 5`UJouHi
 kbq:U8+k ^?Vq L\V5 建模任務(wù) 8dV=1O$ / {F)E\)$G !d |8'^gc 仿真干涉條紋 iQj2UTds3 z\h, SX< U %Ht ^yem Q 走進(jìn)VirtualLab Fusion qnTi_c tBTJmih"  j/`Up [#zE.
TW VirtualLab Fusion中的工作流程 T:)% P6/ ~GYpa t •設(shè)置輸入場 6 <r2*`
−基本光源模型[教程視頻] )y s=+Pz
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 z q O$
•定義元件的位置和方向 |<QI%Y$dr
− LPD II：位置和方向[教程視頻] I W8.
•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡 m\} =4b
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] dWIZ37w+D
•使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化 +QQ YPEx+
−參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例] WxDb3l~
iZu:uMoc  G#g{3}dcK S^)WYF5 VirtualLab Fusion技術(shù) %,Q;<axzi D;J|eC>^ 文件信息 ha ik E.U0qK], QQ：2987619807 l92 !2$]b
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