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摘要 <%m YsaM 7pm'b,J< 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測(cè)量的技術(shù)。 通過(guò)利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長(zhǎng)度差在相干長(zhǎng)度內(nèi)時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測(cè)量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測(cè)量表面平滑變化的樣品。 1Z ) Et, k5I;Y:~`
 !BsQJ_H = 0pt-FQ 建模任務(wù) pcy;]U ? 7q+D }+ Xf O;H6`JQ 仿真干涉條紋 {4D`VfX _ zY*9M3(X _ocCt XI9 走進(jìn)VirtualLab Fusion Kcm+%p^
EC OJ .^  +nE>)ZH nF@**,C Q VirtualLab Fusion中的工作流程 K6kz{R%` n9'3~qVZ •設(shè)置輸入場(chǎng) ?H=q! i
−基本光源模型[教程視頻] Am<5J,<uy
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 Nap[ =[rv
•定義元件的位置和方向 w}j i]V}
− LPD II：位置和方向[教程視頻] r[S(VPo[()
•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡 CRK%^3g
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] i>YS%&O?
•使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化 P.y +jyu
−參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例] ib=)N)l
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