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摘要 #6Xs.*b5C 1
4 LI5T 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 ,?
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 # N~,F@t eMK+X \ 建模任務(wù) AvR2_ l0 *Gb -ZW0k@5g 仿真干涉條紋 J H.K.C( 4LI0SwD#^/ ()PKw,pD 走進VirtualLab Fusion =1dI>M>tm [fu!AIQs  y(
r1I[W' wLuv6\E VirtualLab Fusion中的工作流程 M8w5Ob Ql?^
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SqG •設(shè)置輸入場 `h;k2Se5
−基本光源模型[教程視頻] Z?i /r5F
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 wHz?#MW 3L
•定義元件的位置和方向 nW\(IkX\
− LPD II：位置和方向[教程視頻] F=G{)*Ih
•正確設(shè)置通道以進行非序列追跡 5p?!ni9
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] %Qn(rA@9
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 {5c] Mn"r
−參數(shù)運行文檔的使用[用例] ^SEdA =!
jdeva t,&u  QzGV.Mt2 ps1YQ3Ep & VirtualLab Fusion技術(shù) B68H&h]D#' (7lBID4 文件信息 %R_{1GrL'c b
hjZ 7= QQ：2987619807 zIQzmvf
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