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1. 摘要 Z|m`7xeCy
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白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 9U_ks[Qa V%ii3  |(R5e
l|`^*%W@u6 2. 建模任務(wù) nHOr AD|&
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 Ud%s^A-qS LDj<?' 3. 干涉條紋的變化 RrV>r<Z"Q
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