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1. 摘要 yMbcF DlBr
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白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 K)Zkj"y IQw
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<,@H;|mZ 2. 建模任務(wù) 'EL ||
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 o9 i#N e MN+qkvH 3. 干涉條紋的變化 9eGCBVW:*
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