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1. 摘要 (bZ)pW/iw
"iOT14J!7
白光干涉儀是一種非接觸測量技術，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 Yuh t<:` 191O(H  @8DA
\Mt(9jNK 2. 建模任務 0M:.Jhp
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 .D>%- g$$uf[A-SL 3. 干涉條紋的變化 V,&s$eQC
`MEH /
 hPhN7E03 du `], / 6 4. 走進VirtualLab Fusion Xg op1
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 uKhfZSx0 w ;|}6\=( 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 J/ <[i rC
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 = >/aM7] `2Ff2D ^ ? 6. VirtualLab Fusion 技術 aBol9`6 %mh
K1,
 (x#4BI}L9) 7. 文件信息 EPdR-dC^wE TzerAX^
 3Pkzzyk_|D t$R| lv5<
W=]QTx,J QQ：2987619807 Oh-HfJyi
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