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    [分享]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-06-28
    摘要 rm7ANMB:  
    <|HV. O/!  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 _T60;ZI+^  
    )+#` CIv  
    Y_liA  
     $z6_@`[  
    建模任務(wù) cTifC1Pf  
    hDDn,uzpd  
     I^.Om])  
    Q3'llOx  
    入射平面波 6bg ;q(*7  
    波長 2.08 nm 10Q ]67  
    光斑直徑： 3mm (g]!J_Z"  
    沿x方向線偏振 Xg6Jh``  
    1er TldX  
    如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ ijv(9mR  
    如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布？ {p2!|A&a  
     $c!p&  
    概覽 Da*?x8sSL  
    •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 <sbu;dQ`  
    •接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 70?\ugxA  
     f_OQ./`  
       r `=I  
    光線追跡模擬 M/f<A$xx_  
    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 E_rI?t^  
    •點擊Go！ #^0R&) T  
    •獲得3D光線追跡結(jié)果。 q1x`Bj   
    zpn9,,~u  
     9c bd~mM{  
       h,:m~0gmj  
    光線追跡模擬 LBeF&sb6  
    •然后，選擇“光線追跡”（Ray Tracing）作為模擬引擎。 |d2SIyUc  
    •單擊Go！ P}}* Q7P  
    •結(jié)果，獲得點圖（2D光線追跡結(jié)果）。 K8|r&`X0  
    /xBb[44z8  
    l\H=m3Bg  
     5vQHhwO50k  
    光場追跡模擬 RMV/&85?y  
    •切換到“第二代場追跡”（Field Tracing 2nd Generation）作為模擬引擎。 r8?gD&