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摘要 S1|u@d' U80=f2 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 cz9J&Le> WEj{2+
;W?#l$R 0V~zZ/e 建模任務(wù) nEsD+}E? G+<XYkz*
NuQ!huh =1Sny7G 入射平面波 *-9i<@|(U^ 波長 2.08 nm C
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