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摘要 ~lalc ^ -IsdU7} 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過(guò)光場(chǎng)追跡,可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 7F9g:r/^ 6!Ji>h.Ak >RqT7n8h dt0E0i 建模任務(wù) }`/n2 `J,~hK ,a_{ Y+ F']%q 0 入射平面波 =#")G1A 波長(zhǎng) 2.08 nm ;YXr
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