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    [產(chǎn)品]納米光學(xué)仿真軟件包JCMsuite應(yīng)用領(lǐng)域 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-07-14
    JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域 6Qo YX] .  
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    現(xiàn)代納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計(jì)者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象，了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。 Fj?gXc5{  
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    計(jì)算光刻 _$g2;X >  
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     - '<K_e;  
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    JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈：對(duì)復(fù)雜照明的描述，通過光學(xué)成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場(chǎng)的計(jì)算，直至在光刻膠中形成圖像。     U3R;'80 f  
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    計(jì)算計(jì)量學(xué) ,".1![b  
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     ""0 cw  
    周期大于照明波長(zhǎng)一半的結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量已成為標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量技術(shù)。 但是，快速嚴(yán)格的仿真技術(shù)以及設(shè)計(jì)好的測(cè)量裝備允許在深亞波長(zhǎng)范圍內(nèi)使用光學(xué)計(jì)量方法。 k}MmgaT:5]  
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