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案例87.01:粗糙表面光柵的模擬 eJwr yjpjJ 即將模擬一個具有隨機粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵(General Grating 2D)元件堆棧中的可編程光學界面來完成的。 _x
\Ll?, {NFeX'5bP 關(guān)鍵詞:光柵,光柵工具箱,粗糙表面,可編程光學界面,光柵元件 \x+DEy'4;5 l?~ci
;lG 要求工具箱:光柵工具箱 _5)#{o< dnx}c4P 相關(guān)應(yīng)用案例:案例090.01,案例246.01 =UV?Pi*M> Dux`BKl 一、模擬任務(wù): izKk@{Md 二、光柵的描述 J.&q[ B -KOf 1. 原始表面輪廓是一個平滑的正弦曲線輪廓,其周期為5μm,調(diào)制深度為468nm(使得最內(nèi)側(cè)三個級次的效率相同)。 H>r-|*n y((_V%F} 2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個隨機的變化,由VirtualLabTM中的可編程光學界面來模擬。 1^;h:,e6 TAi\#cnl(6 3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個物理參數(shù):最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和總高度調(diào)制(Total Height Modulation)。使用種子(Seed)變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個可再生的結(jié)果。 EzyIsp> _
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