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    [分享]粗糙表面光柵的模擬 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-09-17
    案例87.01：粗糙表面光柵的模擬 =`l><  
    ,Bj]j -\Y  
    即將模擬一個具有隨機粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵（General Grating 2D）元件堆棧中的可編程光學界面來完成的。 $paE6X^  
     X7?j90tH  
    關鍵詞：光柵，光柵工具箱，粗糙表面，可編程光學界面，光柵元件 ^=qV)j  
     P1<McQ  
    要求工具箱：光柵工具箱 aj-:JTf  
     c*R18,5-  
    相關應用案例：案例090.01，案例246.01 Wj, {lJ,  
    #;UoZJ B  
    一、模擬任務： qBZ;S3  
    二、光柵的描述 C#RueDa.  
     bnV)f<  
    1. 原始表面輪廓是一個平滑的正弦曲線輪廓，其周期為5μm，調制深度為468nm（使得最內(nèi)側三個級次的效率相同）。 ".?y!VY  
     ?i}wm`  
    2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個隨機的變化，由VirtualLabTM中的可編程光學界面來模擬。 a~zh5==QD  
     .:tR*Kst`7  
    3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個物理參數(shù)：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和總高度調制（Total Height Modulation）。使用種子（Seed）變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個可再生的結果。 6mjD@  
     ~eUv.I/  
    4. 變量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 'lmjZ{k  
     0UQ DB5u  
    下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖，其“總的高度調制（Total Height Modulation）”為50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為不同的值。 c$_}   
     >"Zn# FY  
    1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為0 tR_DN  
    id]}10  
    01IfvK  
    Uh^j;s\y  
    2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為100nm ;}k_  
    EdZNmL3cB  
    w<Iq:3  
    3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為500nm i(xL-&{  
    fqn;,!D?9