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案例87.01：粗糙表面光柵的模擬 r*t\F& D o7v, :e: 即將模擬一個(gè)具有隨機(jī)粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過(guò)使用VirtualLab中的一般二維光柵（General Grating 2D）元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來(lái)完成的。 %#@5(_'
Vnnl~|Xx 關(guān)鍵詞：光柵，光柵工具箱，粗糙表面，可編程光學(xué)界面，光柵元件 ~A-D>.ZH
"%K[kA6 要求工具箱：光柵工具箱 e%JH q
zl@hg<n 相關(guān)應(yīng)用案例：案例090.01，案例246.01 `_>44!M +XL|bdK 一、模擬任務(wù)： VU \{<j{ 二、光柵的描述 !Bn,f2
D' oy%
1Q} 1. 原始表面輪廓是一個(gè)平滑的正弦曲線輪廓，其周期為5μm，調(diào)制深度為468nm（使得最內(nèi)側(cè)三個(gè)級(jí)次的效率相同）。 GA2k g7
,=`iQl3(y/ 2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個(gè)隨機(jī)的變化，由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來(lái)模擬。 wak'L5GQE
f}VIkx]X" 3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個(gè)物理參數(shù)：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和總高度調(diào)制（Total Height Modulation）。使用種子（Seed）變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個(gè)可再生的結(jié)果。 JG=z~
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