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案例87.01：粗糙表面光柵的模擬 ~4MjJKzA PV6 * -[ 即將模擬一個(gè)具有隨機(jī)粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵（General Grating 2D）元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 [E
(M(w':
X#,[2&17Fh 關(guān)鍵詞：光柵，光柵工具箱，粗糙表面，可編程光學(xué)界面，光柵元件 lMez!qx,=
' u};z:t 要求工具箱：光柵工具箱 #.+* G`m
jA4v?(AO}# 相關(guān)應(yīng)用案例：案例090.01，案例246.01 b^DV9mO4J G@ EjWZQ 一、模擬任務(wù)： 8M+F!1-# 二、光柵的描述 _np>({
oy
bzD 1. 原始表面輪廓是一個(gè)平滑的正弦曲線輪廓，其周期為5μm，調(diào)制深度為468nm（使得最內(nèi)側(cè)三個(gè)級次的效率相同）。 S\g7wXH
<S@mQJS!y 2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個(gè)隨機(jī)的變化，由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 HcVs(]tIW
B4 Af 3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個(gè)物理參數(shù)：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和總高度調(diào)制（Total Height Modulation）。使用種子（Seed）變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個(gè)可再生的結(jié)果。 u6I0<i_KZ
k`mrRs 4. 變量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ku9F N
w^E] N 下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖，其“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”為50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為不同的值。 *2
$m>N
I+?$4SC 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為0 rI66frbj 3KFrVhB= mRnzP[7-\) -_*XhD 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為100nm t>GLZzO >\x_ "oR >wk=`&+V@ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為500nm < Gy!i/ M(WOx Z8 ~uZLe\>K 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為1000nm K[a< &Yk s,2:P d>b,aj( 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為1500nm :mV7)oWH *o\Y~U-so 2X;0z$ 5. 參數(shù)運(yùn)行 ]#-/i2-K
[(P[qEY 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一個(gè)在“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”為50nm時(shí)，隨“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”變化的結(jié)果。 (9 z.IH7}k
QRZTT qG 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為1.5um時(shí)，將“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”設(shè)置為變量。下面將給出這些變量的模擬結(jié)果。 u3i| } ` ,-I F++q 6. 具有不同的“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”的結(jié)果 > <
_Z 19w,'}CGk @uM3iO7& 7- 3N 7. 總結(jié) >;&V~q:di
S}p&\w H 1) VirtualLabTM可以對粗糙高度輪廓表面的光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。 -f;j1bQ
{L-aXe{ 2) 可編程光學(xué)界面可以用來模擬用戶自定義高度輪廓的光柵。 v6DxxE2n
pT;-1c%: 3) 大的調(diào)制（在x-和y-方向）會(huì)造成原始衍射結(jié)果強(qiáng)烈的偏差。 k1Mxsd GKsL~;8"
B/9<b{6 QQ：2987619807 JXRf4QmG
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