建模目的：如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合，以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵，并進(jìn)行近場(chǎng)分析和內(nèi)部場(chǎng)分析 KhK:%1 po 工具箱：光柵工具箱 0LX;Vvo 關(guān)鍵詞：矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面 近場(chǎng)分析 內(nèi)部場(chǎng)分析 "w}}q>P+sA 組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： &u)
R+7bl, 圖1：光柵參數(shù)示意圖 /c 3A >
使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 aOZSX3;wg
$<R\|_6J 1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3) @ *W)r~ "~ (1)
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圖2：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖 Wj0=cIb
2) 雙擊
，進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 i?"
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07pASZ;~ 圖3：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟2)示意圖 > */\Pg6^
3) 進(jìn)入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過(guò)添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 :t?Z
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(2) ia#Z$I6
(3)
圖4：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟3)示意圖 r(=
4) 點(diǎn)擊
，進(jìn)入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結(jié)構(gòu)參數(shù)，并將其位置橫向移動(dòng)(Lateral Shift)1 μm，如下圖所示 98 dl -?
/'KCW_Q 圖5：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟4)示意圖
