建模目的：如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合，以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵，并進(jìn)行近場分析和內(nèi)部場分析 (62Sc] 工具箱：光柵工具箱 p`'3Il3 關(guān)鍵詞：矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點列界面 近場分析 內(nèi)部場分析 c2PBYFCyC 組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： G( 1_P1 圖1：光柵參數(shù)示意圖 u \f Qa QV
使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 $7 p0<<Nck
HU el 1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3) OZe`>Q6 (1)
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圖2：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖 i~m;Ah,#
2) 雙擊
，進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 W Qe Q`pM
PE6ZzxR|U< 圖3：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟2)示意圖 8(H!iKHe
3) 進(jìn)入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 \M*c3\&~,e
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(3)
圖4：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟3)示意圖 O#)YbaE
4) 點擊
，進(jìn)入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結(jié)構(gòu)參數(shù)，并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 μm，如下圖所示 eqyUI|e
&#'.I0n 圖5：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟4)示意圖 so@ijl4{Z
5) 點擊
，進(jìn)入轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Interface)編輯窗口(Edit Transition Point List Interface)，輸入光柵二和光柵三兩種光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： Pe@*')o*
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