建模目的：如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合，以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵，并進(jìn)行近場分析和內(nèi)部場分析 `[(. Q 工具箱：光柵工具箱 C/JFb zVx 關(guān)鍵詞：矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面 近場分析 內(nèi)部場分析 o-}q|tD$< 組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： 9kO }054 圖1：光柵參數(shù)示意圖 I'%\
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使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 fZ6-ap,u
/[FES 78p 1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3) y@'~fI!E4 (1)
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圖2：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖 Z /*X)mBuB
2) 雙擊
，進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 U4.- { .
8o7% qWX 圖3：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟2)示意圖 V ."qxKsz
3) 進(jìn)入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 c_N'S_)~7Q
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(1)
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(2) &2Q0ii#Aa
(3)
圖4：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟3)示意圖 ~USU\dni
4) 點(diǎn)擊
，進(jìn)入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結(jié)構(gòu)參數(shù)，并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 μm，如下圖所示 uO {'eT~
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圖5：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟4)示意圖 :9.QhY)D
5) 點(diǎn)擊
，進(jìn)入轉(zhuǎn)變點(diǎn)列界面(Transition Point List Interface)編輯窗口(Edit Transition Point List Interface)，輸入光柵二和光柵三兩種光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： 5;:964Et
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mK# (1) 通過點(diǎn)擊添加數(shù)據(jù)(Add Datum)增加轉(zhuǎn)變點(diǎn)(transition points)，并給該點(diǎn)對應(yīng)的橫向位置(x-Position)和高度(Height)賦值，以形成所需轉(zhuǎn)變點(diǎn)序列。 Be4n\c.
$%K yz\;7/ (2) 按照圖6(2)所示設(shè)置所有轉(zhuǎn)變點(diǎn)，然后將插值方法(Interpolation Method)設(shè)置為常量區(qū)間(Constant Interval)。將橫向區(qū)域上限(Upper Limit)設(shè)置為2 μm，并設(shè)置大小與形狀(Size and Shape) 為2 μm x 2μm 長方形(Rectangular)。 fnJ!~b*qo
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