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摘要
=Pl@+RgK+ `HRL .uX T%eBgseS BI`)P+K2 斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測(cè)量儀器,常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測(cè)。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測(cè)試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓很敏感。 G{} 2"/ jjV'`Vy) 建模任務(wù) _cs(f<>oCO ;98&5X\u< $v@$C4 (kLaXayn 觀測(cè)傾斜平面 $os]$5( *lSu=dk+ (+|+ELfqW V8M()7uJ 觀測(cè)柱面 3@V?L:J 27D*FItc
,-AF8BP Da(k>vR@4 觀測(cè)球面 z{L'7 <!sLfz? +06{5-, srv4kodj 走進(jìn)VirtualLab Fusion 05LkLB #%;Uh eyMn! a ,j*9
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