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    [技術]高數(shù)值孔徑圖形圖案擴散器的設計與優(yōu)化 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-17
    1. 建模描述 wy tMoG\  
    設計擴散器以在遠場生成高數(shù)值孔徑光圖案 C.ji]P#  
    光源參數(shù)： .%e>>U>F  
    — 高斯光源波長：532nm vmrs(k "d#  
    — 根據(jù)最終的衍射光學元件選擇合適的直徑 -N wic|  
    系統(tǒng)參數(shù)： ~;H,cPvrEg  
    — 衍射元件到屏幕距離：z=0.5m czpu^BT;;T  
     輸出場要求： <FBBR2  
    — 期望光圖案：1.0m×0.5m網(wǎng)格 fCF.P"{W"  
    — 光圖案期望分辨率：±0.5mm u)I\R\N  
    （目標平面上相鄰衍射級次間的最小距離：∆xTP=1mm（離軸）） f!R7v|j P  
    — 目標圖案來源于文件 5N%d Les  
    “Sc385_HighNA_DiffuserDesign_01_DesiredLightPattern.bmp” oy5K* }  
     衍射光學元件參數(shù)： D&2NO/ R  
    — 衍射元件的相位階數(shù)：4 adIrrK  
     o:W*#dt  
    2. 設計類型與步驟 L6Brs"9B  
     G'#u!<(^h  
    遠場應用 D"$Y, d  
    優(yōu)化衍射光學元件用以生成高數(shù)值孔徑角分布。 :{iH(ae;  
     '@ Y@Fs  
    信息 ,f>9oOqqA  
    衍射光學元件在波數(shù)域上生成一個角分布(kx，ky)。 ncOgSj7e  
     jX8)Ov5Mv  
    設計步驟 2|& S2uq  
    A. 計算衍射光學元件的像素尺寸、周期和像元數(shù)。 w43b=7  
    B. 根據(jù)參數(shù)計算結果預先設置傅里葉迭代法優(yōu)化文檔。 f<VK\%M  
    C. 根據(jù)靶面上期望的光強分布在波數(shù)域上生成一個具有預補償角的光分布，并作為設計目標圖形。可以類似的定義一個特定的優(yōu)化范圍。 : slO0  
    D. 傅里葉迭代法優(yōu)化文件的最終設置(定義實際的設計目標圖案)。 h ~yTkN]  
    A. 計算 ?HZ^V  
    1. 根據(jù)信號場沿x方向擴展的一個合理的初始值計算衍射光學元件的最小像素（特征）尺寸(此處xmax SF僅有0.75m): 'uDx$AkY  
    `N.:3]B t  
    將此值近似到一個可加工尺寸 (∆x’DOE)以兼顧制造者加工過程中對于位置增加以及最小特征尺寸的加工能力。此處近似后，∆x’DOE=320nm。根據(jù) Z'y