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測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1) nt()UC`5 .),9qz` 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 /*BU5 11#b%dT 1. 系統(tǒng)說明 i={4rZOD^ $")Gd@aR 光源 )h0>e9z>Y — 氦氖激光器(波長(zhǎng)632.8nm;相干長(zhǎng)度>1m) "mE/t ( 元件 ?#&[1.= u — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測(cè)球面透鏡 8O{V#aop 探測(cè)器 k1yqerA — 干涉條紋 3[_WTwX0 建模/設(shè)計(jì) @oH\r-jsgu — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 3$P — 幾何場(chǎng)追跡加(GFT+): (X5y%~;V5a 計(jì)算干涉條紋。 Wvu1? 分析對(duì)齊誤差的影響。 *6AqRE +eH`mI0f 2. 系統(tǒng)說明 q&?hwX
Z7 T@P~A)>yo 參考光路 90iveb21} I!9>"s12 3. 建模/設(shè)計(jì)結(jié)果 :~W(#T,$E #Q["[}flVv N\.
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