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測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1) r6j[C"@ hMupQDv/I 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 K-YxZAf nANl9;G 1. 系統(tǒng)說(shuō)明 l|842N@1 u%L6@M2 光源 A._CCou — 氦氖激光器(波長(zhǎng)632.8nm;相干長(zhǎng)度>1m) !,-'wT<v 元件 9f['TG," — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測(cè)球面透鏡 t:dvgRJt* 探測(cè)器 zt2#K — 干涉條紋 yO-2.2h 建模/設(shè)計(jì) 6rS
? FG= — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 VI3fvGHat{ — 幾何場(chǎng)追跡加(GFT+): [6@bsXiw 計(jì)算干涉條紋。 eDo4>k"5 分析對(duì)齊誤差的影響。 *K>2B99TXu F_u?.6e] 2. 系統(tǒng)說(shuō)明
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