該案例介紹了一個正弦光柵的仿真，該光柵表面具有隨機(jī)變化的粗糙度結(jié)構(gòu)。此外，分析了對衍射級次的影響，特別是衍射效率。 G5*_  
Xp~O?2:3l  
1. 建模任務(wù) <4Ik]Uz^  
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 一個正弦光柵不同衍射級次的嚴(yán)格分析和優(yōu)化。 pykRi#[UrX  
 對于該仿真，采用傅里葉模態(tài)法。 MrhJk  
XL`i9kV?  
2. 建模任務(wù)：正弦光柵 S#l)|c_~  
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x-z方向(截面視圖) b X4]/4%  
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光柵參數(shù)： }u.1$Y  
 周期：0.908um HiEQs|""'  
 高度：1.15um lFD/hz7lc  
(這些參數(shù)提供了一個具有均勻分布傳輸效率0級和±1級衍射級次，詳見案例341) VL2ACv(  
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3. 建模任務(wù) [Y8ot-6  
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 VirtualLab光柵工具箱提供的光柵級次分析器，可對光柵衍射效率進(jìn)行嚴(yán)格的計算。 w"OeS;#e:  
c1h?aP  
 利用該分析器，也可以分別計算出現(xiàn)的每個衍射級次的衍射效率。 %$=}ePD  
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4. 光滑結(jié)構(gòu)的分析 5mg] su&#  
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 計算衍射效率后，結(jié)果可在級次采集圖中顯示。 uY:u[  
 對于光滑結(jié)構(gòu)，參數(shù)平穩(wěn)，0級和±1衍射級次的傳輸效率大約為32% C[nacAi  
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5. 增加一個粗糙表面 &u0on)E  
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 VirtualLab光柵工具箱可將兩個界面進(jìn)行組合(如添加)。 89[OaT_hs  
 因此任意光柵形狀(如正弦光柵)可以與粗糙表面組合，形成粗糙光柵面型。 y-vQ4G5F|  
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 該粗糙面有可通過幾個選項(xiàng)來實(shí)現(xiàn)表面的變化(如周期化)。 Fr]B]Hj  
 第一個重要的物理參數(shù)稱為”最小特征尺寸”。 B/bS:  
 第二個重要的物理參數(shù)是定義”總調(diào)制高度”。 \-RVPa8k  
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