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UID:317649
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- 注冊時間2020-06-19
- 最后登錄2025-02-21
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該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外,對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 umdG(osR Hk|0HL 1. 建模任務(wù) KM`eIw>8 f3UXCp C)cwAU|h# 2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) IEyL];K +*_5tWAc [V}S<Xp 3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) /<rt1&0 b"TjGE 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): (!:cen~|[ w^]6w\p 1. 圓柱的水平間距:250nm nVJPR 2. 圓柱的垂直間距:125nm bMU(?hb 3. 列距:125nm \w'*z&`W9 /y>>JxAEb 優(yōu)化過程中變化的參數(shù): Zk[&IBE_ wfjnA~1h 1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) N:9>dpP}O 2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) #0Tq=:AE> ZNx$r]4nF ]~\sA 4. 3維柱型結(jié)構(gòu)的建模 C{d7J'Avk I<A6Z&*un $U/YR&vcw z.}[m,oTF VirtualLab為設(shè)計3 維柱型結(jié)構(gòu)提供任意選項。 n6k9~
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