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    [技術(shù)]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-25
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外,對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 umdG(osR  
    Hk|0HL  
    1. 建模任務(wù) KM`eIw>8  
     f3UXCp  
    C)cwAU|h#  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) IEyL];K  
    +*_5tWAc  
    [V}S <Xp  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) /<rt1&0  
    b"TjGE  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): (!:cen~|[  
    w^]6w\p  
    1. 圓柱的水平間距:250nm nVJPR  
    2. 圓柱的垂直間距:125nm bMU(?hb  
    3. 列距:125nm \w'*z&`W9  
    /y>>JxAEb  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù): Zk[&IBE_  
    wfjnA~1h  
    1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) N:9>dpP}O  
    2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) #0Tq=:AE>  
    ZNx$r]4nF  
    ]~\sA  
    4. 3維柱型結(jié)構(gòu)的建模 C{d7J'Avk  
    I<A6Z&*un  
    $U/YR&vcw  
    z.}[m,oTF  
    VirtualLab為設(shè)計3 維柱型結(jié)構(gòu)提供任意選項。 n6k9~