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    [技術(shù)]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-25
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。 (lqC[:  
     6|=f$a  
    1. 建模任務(wù) Rv>-4@fMJ  
     Y|qTyE%  
    Rp7mh]kZ  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) C): 1?@  
    ]/6z; ~3U  
    j;r-NCBnz  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) +`0k Fbx  
     G_JA-@i%  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： Y@iS_lR  
     XT*sGM  
    1. 圓柱的水平間距：250nm Tidn-2L73O  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm pki%vRY  
    3. 列距：125nm S hWJ72c  
     kZ:ZtE  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： 8,%^ M9zBP  
     hfTY.  
    1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) B[Scr5|  
    2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) ~~P5k:  
    [|L<_.8  
     l'qg8