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    [技術(shù)]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-25
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外，對(duì)圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 ?a8 o.&`l  
     {b|:q>Be8  
    1. 建模任務(wù) B2QC#R  
     $'SWH+G  
    &^R0kCF`  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) "V|1w>s  
    [LwmzmV+F  
    *c\:ogd  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) 9-<EeV_/  
     mk)F3[ ke  
    優(yōu)化過(guò)程中保持不變的參數(shù)： __}j {Buk  
     F_m[EB  
    1. 圓柱的水平間距：250nm 9=(*#gRd  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm VEolyPcsg&  
    3. 列距：125nm hpftVEB