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    [技術(shù)]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-25
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外,對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 oL]uY5eZoe  
    5'set?  
    1. 建模任務(wù) myj/93p}`b  
    Sn[xI9}O  
    ;n't:yQW  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) fizW\f8ai  
    p<r^{y  
    o<5`uV!f  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) ?;RY/[IX6  
    OkC.e')Vx  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): r:sa|+  
    2B4.o*Q\  
    1. 圓柱的水平間距:250nm syr0|K[  
    2. 圓柱的垂直間距:125nm xuUEJ a&  
    3. 列距:125nm k<1i.rh  
    f(y+1  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù): ir6aV|ea!  
    W/UA%We3+L  
    1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) 8)S)!2_h  
    2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) bkdXBCBx?  
    "" UyfC[  
    rfonM~3?'  
    4. 3維柱型結(jié)構(gòu)的建模 )M<+?R$];  
    \~8W0q.4M  
    x:-NTW -g  
    /rpr_Xw}  
    VirtualLab為設(shè)計3 維柱型結(jié)構(gòu)提供任意選項(xiàng)。 N~]qQ oj,  
     在LightTrans 定義的庫中可以選擇不同的柱型和基底材料 w!"A$+~  
    如,可選擇矩形柱或橢圓柱。 :? )!yI  
     通過選擇足夠的柱間距和適當(dāng)?shù)摹傲芯唷保蓪?shí)現(xiàn)多種橫向布局(如矩形或六邊形)。
    L-- t(G  
    9<3(  QR  
    5. 柱高的優(yōu)化 NlF*/Rs  
    f2c <-}wR  
    A _TaXl(  
     利用參數(shù)運(yùn)行文檔,找到最佳的柱高(最低的反射率) lq.:/_m0  
     反射率最低值在維持在~110nm的柱高范圍內(nèi)(對于正入社的TM偏振光)。 8`L]<Dm  
    uQ3sRJi  
    6. 柱直徑的優(yōu)化 #)}BY"C%  
    !y$##PZ  
    0y$VPgsKf  
     相似的參數(shù)運(yùn)行可顯示最佳的柱直徑(考慮到優(yōu)化柱高)。 7l7VT?<:  
     反射率最低值在柱直徑~140nm處獲得(對于正入社的TM偏振光)。 _ uOi:Ti  
    #r9\.NA!  
    7. 優(yōu)化后柱型光柵結(jié)構(gòu)的結(jié)果 Hx6O Dj[-  
    }-:B`:K&  
     柱高:110nm (LsVd2AbR  
     柱直徑:140nm tC'#dU`=qY  
    k(G6` dY  
    8. 角度關(guān)系的分析
    EPW4 h/I  
    2@bOy~$A  
    <SJ6<'  
     當(dāng)入射角小于50°時,抗反射結(jié)構(gòu)顯著的降低反射率(近似于0)。 >e;jGk?-  
     由于采用偏振光(TM),以55°入射在無柱狀抗反射結(jié)構(gòu)的平面上時,反射率為0(所謂的布儒斯特角)。 GI{EP&