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該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外,對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 oL]uY5eZoe 5'set? 1. 建模任務(wù) myj/93p}`b Sn[xI9}O ;n't:yQW 2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) fizW\f8ai p<r^{y o<5`uV!f 3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) ?;RY/[IX6 OkC.e')Vx 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): r:sa|+ 2B4.o*Q\ 1. 圓柱的水平間距:250nm syr0|K[ 2. 圓柱的垂直間距:125nm xuUEJ
a& 3. 列距:125nm k<1i.rh f(y+1 優(yōu)化過程中變化的參數(shù): ir6aV|ea! W/UA%We3+L 1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) 8)S)!2_h 2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) bkdXBCBx? "" UyfC[ rfonM~3?' 4. 3維柱型結(jié)構(gòu)的建模 )M<+?R$]; \~8W0q.4M x:-NTW
-g /rpr_Xw} VirtualLab為設(shè)計3 維柱型結(jié)構(gòu)提供任意選項(xiàng)。 N~]qQoj, 在LightTrans 定義的庫中可以選擇不同的柱型和基底材料。 w!"A$+~ 如,可選擇矩形柱或橢圓柱。 :? )!yI 通過選擇足夠的柱間距和適當(dāng)?shù)摹傲芯唷保蓪?shí)現(xiàn)多種橫向布局(如矩形或六邊形)。 L--
t(G 9<3( QR 5. 柱高的優(yōu)化 NlF*/Rs f2c<-}wR A_TaXl( 利用參數(shù)運(yùn)行文檔,找到最佳的柱高(最低的反射率) lq.:/_m0 反射率最低值在維持在~110nm的柱高范圍內(nèi)(對于正入社的TM偏振光)。 8`L]<Dm uQ3sRJi 6. 柱直徑的優(yōu)化 #)}BY"C% !y$##PZ 0y$VPgsKf 相似的參數(shù)運(yùn)行可顯示最佳的柱直徑(考慮到優(yōu)化柱高)。 7l7VT?<: 反射率最低值在柱直徑~140nm處獲得(對于正入社的TM偏振光)。 _
uOi:Ti #r9\.NA! 7. 優(yōu)化后柱型光柵結(jié)構(gòu)的結(jié)果 Hx6ODj[- }-:B`:K& 柱高:110nm (LsVd2AbR 柱直徑:140nm tC'#dU`=qY k(G6` dY 8. 角度關(guān)系的分析 EPW4
h/I 2@bOy~$A <SJ6<' 當(dāng)入射角小于50°時,抗反射結(jié)構(gòu)顯著的降低反射率(近似于0)。 >e;jGk?- 由于采用偏振光(TM),以55°入射在無柱狀抗反射結(jié)構(gòu)的平面上時,反射率為0(所謂的布儒斯特角)。 GI{EP&
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