案例315（3.1） jhmWwT/O8^ +""8aA 該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 2~BId&]
KN"V(<!)~ 1. 線柵偏振片的原理 r\sQ8/ '5vgpmn 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 V$7SVq
2. 建模任務(wù) jSyF]$"
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全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 X(;,- 7Jw
偏振元件的重要特性： ^KsiTVY
偏振對比度 -r!N;
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透射率 6k=ink-/
效率一致性 `Al5( 0Q
線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) e Ert_@} u K`T1*_ 3. 建模任務(wù)： [
