案例315（3.1） ]U)Yg Vs@H>97,G 該應用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 F*j0o
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1cc3! 1. 線柵偏振片的原理 "6
\_/l Eu1t*>ZL 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 A4hbh$
2. 建模任務 ,RIC _26
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Gsa~zGN
全部透射光線的嚴格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 4g^Xe -
偏振元件的重要特性： :*dfP/GO
偏振對比度 L@>$
A w
透射率 , AEaW
效率一致性 ,)%$Zxng
線格結(jié)構(gòu)的應用(金屬) I*hzlE Z [?zaQ$ 3. 建模任務： 8q_"aa,`
x-z方向(截面) x-y方向(俯視圖)
~"}o^#@DwJ 4. 建模任務：仿真參數(shù) j$Wd[Ja +O
o#=@!m 偏振片#1: ;X)b= 偏振對比度不小于50@193nm波長 caXSt2|' 高透過率(最大化) LM Tz/M 光柵周期：100nm(根據(jù)加工工藝) br4?_, 光柵材料：鎢(適用于紫外波段) /+ Q3JS( 偏振片#2: 4"~l^yK 偏振對比度不小于50@300—400nm波段范圍內(nèi) 9U]j @*QN 在波長范圍內(nèi)具有5%一致性的高透過率 W}a CU ~ 光柵周期：100nm K0C3s 光柵材料：鎢 E2u9>m4_J
"#G`F 5. 偏振片特性 ?` T-A\A=
E) z=85;_p 偏振對比度：(要求至少50:1) $i]G'fj "'v^X!" 
Q7
