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    [技術(shù)]紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-26
    案例315（3.1） /gH[|d  
    ^{}$o#iof  
    該應用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 e)M)q!nG  
     R3bHX%T  
    1. 線柵偏振片的原理 hU|TP3*  
    sx^0*h-Qq  
    帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 (5/>arDn  
    2. 建模任務(wù) dbsD\\,2%N  
    EEJ OJ<  
    wZnv*t_  
     全部透射光線的嚴格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 |& Pa`=sp  
     偏振元件的重要特性： z)_h"y?H{%  
     偏振對比度 # ? _8 *?  
     透射率 ISDeLUihY  
     效率一致性 U(6=;+q  
     線格結(jié)構(gòu)的應用(金屬)     %AJTU3=0  
    Ri<'apl  
    3. 建模任務(wù)： (#K u`  
    x-z方向(截面)                         x-y方向(俯視圖)
    `#3FvP@&  
    4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) pNNvg,hS8  
     o6ag{Yp  
    偏振片#1: #I9hKS{  
     偏振對比度不小于50@193nm波長 "8l& m6`U-  
     高透過率(最大化) =\FV_4)  
    光柵周期：100nm(根據(jù)加工工藝) ym*oCfu=  
     光柵材料：鎢(適用于紫外波段) igO,Ge8}  
    偏振片#2: ^ rh{  
     偏振對比度不小于50@300—400nm波段范圍內(nèi) g4f:K=5:  
     在波長范圍內(nèi)具有5%一致性的高透過率 GwM(E^AG  
     光柵周期：100nm a,ZmDkzuv  
     光柵材料：鎢 #V-0-n,`  
     [))TL  
    5. 偏振片特性 hd N[wC]  
     ?}ly`Js  
     偏振對比度：(要求至少50:1) P*:9u>  
    De`p@`+<#~  
    GX#SCZ&}C  
     _j sJS<21  
     一致性誤差，如Ex的透射(在要求波長范圍內(nèi)不超過5%) | k?r1dj%O  
    OzA'd\|  
     $'%.w|MJp  
    \'hZm%S  
    6. 二維光柵結(jié)構(gòu)的建模 8Cef ]@x  
    )WH;G:$&"  
    )aAKxC7w  
     該案例使用一般二維光柵工具，該工具嵌入在VirtualLab光柵工具箱。 Hw 1:zro  
     通過使用該功能可處理不同類型的光柵形狀。 d1BE;9*/7  
     通過一個矩形光柵結(jié)構(gòu)來模擬紫外線柵偏振片。 s9[54 7?`  
    Q4h6K 7  
      Op5S'  
    2Fc>6]:*  
    7. 偏振敏感光柵的分析 [Ol~}@gV  
    'Da*MGu9  
     可通過“偏振分析器”對偏振敏感光柵進行分析，該工具是VirtualLab光柵工具箱的一部分。 jt`\n1q)  
     偏振片最重要的幾個特性可直接進行選擇(如偏振度、透射率和反射率) U["-`:>jfp  
     此外，分析器提供了許多選項。如波長變化和入射角。     nh]}KFO