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[討論]關于國產(chǎn)光刻機的那段歷史 [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2021-11-30

關鍵詞：光刻機

1982年，中科院研制出的KHA-75-1光刻機，和當時最先進的佳能光刻機相比，差距也就在四年左右�？上Ш罄m(xù)因為沒有投放到商用領域，以及科研經(jīng)費的不足，為了促活經(jīng)濟，國內開始采購集成電路生產(chǎn)線設備，國產(chǎn)光刻機的研究，無奈進入了停滯狀態(tài)。