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    [討論]磁控濺射鍍膜電子損傷 [復制鏈接]

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    離線hxn123
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-12-15
    關鍵詞： 磁控濺射鍍膜
    各位大佬，磁控濺射鍍膜過程中的電子損傷能用什么辦法檢測出來嘛，電子損傷有什么辦法將其消除或者規(guī)避掉嘛？
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2021-12-16
    是電子本身造成的損傷，還是二次電子造成的靜電損傷？ M  .#}  
    有些問題屬于小知識小竅門，網上問的到結果。 k.T=&0J_1  
    有些問題屬于別人花了很多錢開發(fā)出來的獨有技術和工藝， 37AVk`a  
    屬于保密范疇，網上是問不到結果的。  0^;2  
    離線hxn123
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2021-12-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:是電子本身造成的損傷，還是二次電子造成的靜電損傷？ m$0W^u  
    有些問題屬于小知識小竅門，網上問的到結果。 ZR>BK,  
    有些問題屬于別人花了很多錢開發(fā)出來的獨有技術和工藝， .#EU@Hc  
    屬于保密范疇，網上是問不到結果的。 yi7.9/;a  
     (2021-12-16 11:58)  r" H::A  
    xd Z$|{,  
    好滴，謝謝。這個電子損傷主要是濺射沉積過程中產生的電子，包括二次電子，應該不包括靜電。
    離線ouyuu
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2021-12-24
    這樣…… dX(JV' 18A  
    我這邊只做過新柯隆，他們家是先濺射再氧化的。 i_qY=*a?y  
    氧化的時候多余的氧離子就可以把電子中和了，所以之前也沒有關注過這種問題。 1U\ap{z@  
    你們能不能鍍膜的時候加上一個氧化源？
    離線hxn123
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2021-12-28
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:這樣…… #GM^