-
UID：317649
-
- 注冊時間2020-06-19
- 最后登錄2025-02-21
- 在線時間1734小時
-
-
訪問TA的空間加好友用道具
|
在 LTPS 制造過程中，使用自對準(zhǔn)掩模通過離子注入來金屬化有源層。當(dāng)通過 TRCX 計算電容時，應(yīng)用與實(shí)際工藝相同的原理。工程師可以根據(jù)真實(shí)的 3D 結(jié)構(gòu)提取準(zhǔn)確的電容，并分析有源層離子注入前后的電位分布，如下圖所示。 sx9 N8T3n  <J- aq;p a*=e 3nS
niFjsTA.Z tW,<Pe
= zsXa=< (a)FIB EV9m\'=j  P~~RK& +i
"k+QDQ3= (b) 摻雜前后對比 5K8\hoW{
|
