-
UID:317649
-
- 注冊(cè)時(shí)間2020-06-19
- 最后登錄2024-11-15
- 在線時(shí)間1524小時(shí)
-
-
訪問TA的空間加好友用道具
|
在 LTPS 制造過程中,使用自對(duì)準(zhǔn)掩模通過離子注入來金屬化有源層。當(dāng)通過 TRCX 計(jì)算電容時(shí),應(yīng)用與實(shí)際工藝相同的原理。工程師可以根據(jù)真實(shí)的 3D 結(jié)構(gòu)提取準(zhǔn)確的電容,并分析有源層離子注入前后的電位分布,如下圖所示。 ,aL"Wy( r${a
S@F BtZm_SeA {
)K(}~VD EatDT*! \/zS@fz (a)FIB
|