:pXY/Pa 介紹 )~2~q7 4];<`
% $rV4JROb 在高約束
芯片上與亞微米波導上耦合光的兩種主要方法是
光柵或錐形耦合器。[1]
]TX"BH"2 耦合器由高折射率比
材料組成,是基于具有
納米尺寸尖端的短錐形。[2]
7,7-E&d 錐形耦合器實際上是
光纖和亞微米波導之間的緊湊模式轉(zhuǎn)換器。[2]
2m{d> 錐形耦合器可以是線性[1]或拋物線性[2]過渡。
T:=ST3#m 選擇Silicon-on-insulator(SOI)技術(shù)作為納米錐和波導的平臺,因為它提供高折射率比,包括二氧化硅層作為
光學緩沖器,并允許與集成
電子電路兼容。[2]
)kk10AZV-E ] =*G[ qLWM,[Og 64LAZEQX {baG2Fe1`b v9"|VhZ 5`\"UC7?% =lZtI6tZ $eiW2@ !=bGU=