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    [求助]多層減反膜理論與實(shí)測差別較大 [復(fù)制鏈接]

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    離線songyanxia
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-02-09
    關(guān)鍵詞： 減反膜離子源
    設(shè)備為德國萊寶加APS離子源，在k9基底上使用sio2和ta2o5設(shè)計(jì)了可見區(qū)+1540nm雙波段減反膜，理論上在可見區(qū)有三個波峰，且平均剩余反射率小于0.5％，最大峰值0.7％左右，而實(shí)際測量曲線與理論相差非常大，波峰為4個，波峰最大值超過2％。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校準(zhǔn)過了。
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-02-23
    AR膜好像從來沒有和設(shè)計(jì)一樣的。 p >aw  
    慢慢用模擬軟件模擬著修吧。 F^rl$#pCS  
    ^<;w+%[MT  
    先確定氧是足夠的（沒有失氧），先修敏感層。 XGIpUz  
    離線xiezhizhi
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-02-28
    同意一樓說法 可以用TFC的Interactive Analysis 模擬看看是那一層影響
    離線flyinlove79
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2022-04-17
    材料參數(shù)偏差、膜厚控制誤差、折射率不均勻等都會導(dǎo)致實(shí)測曲線和理論曲線間的偏差。
    離線shenhan0701
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2022-06-06
    同樣的材料，厚度不同，tooling是不一樣的，一般來說100nm以下，越薄的層tooling越小，模擬看看吧
    離線f4213705
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2022-06-10
    同意一樓說法
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2022-06-21
    模擬確認(rèn)哪一層或者哪個材料出現(xiàn)偏差了