JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域
f)/Z7*Z +{I_%SsG 現(xiàn)代
納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象，了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。
nTqU~'d' s7 "xDDV 計算光刻
yXR1 NYg MuY:(zC % 'K,\ q`<:CfCt JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈：對復(fù)雜
照明的描述，通過光學(xué)
成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計算，直至在光刻膠中形成圖像。
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