JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域
$[xS>iuD ng6".u9 現(xiàn)代
納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象,了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。
1KMSBLx 2e<u/M21> 計算光刻
]=Dzr<*v i!i=6m.q7 U(rY,4' |6O7_U#q JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈:對復(fù)雜
照明的描述,通過光學(xué)
成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計算,直至在光刻膠中形成圖像。
7@NV|Idtd '5r\o8RjN 計算計量學(xué)
M?ObK#l!_ oO4hBM([ /7fD;H^* (Zz8 ldO 周期大于照明波長一半的結(jié)構(gòu)的光學(xué)計量已成為標(biāo)準(zhǔn)計量技術(shù)。 但是,快速嚴(yán)格的仿真技術(shù)以及設(shè)計好的測量裝備允許在深亞波長范圍內(nèi)使用光學(xué)計量方法。
3Ow bU @9e}kiW 波導(dǎo)和
光纖 xh:A*ZI=7 [lz#+~rOS Wi+}qO