JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域 (R9QBZP5  
3(cU)  
現(xiàn)代納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計(jì)者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象，了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。 wpAw/-/  
`%KpTh  
計(jì)算光刻 bS_y_9K  
HTR "m
Q  
]J8KCjq@  
)Ix-5084  
JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈：對(duì)復(fù)雜照明的描述，通過光學(xué)成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場(chǎng)的計(jì)算，直至在光刻膠中形成圖像。 d08`42Z69  
a!TBk=P  
計(jì)算計(jì)量學(xué) V[BY/<z)A  
!C9ps]6
 
hr)+Pk  
c+}!yH$  
周期大于照明波長(zhǎng)一半的結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量已成為標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量技術(shù)。 但是，快速嚴(yán)格的仿真技術(shù)以及設(shè)計(jì)好的測(cè)量裝備允許在深亞波長(zhǎng)范圍內(nèi)使用光學(xué)計(jì)量方法。 u=_b
M2;~Z  
2GHXn:V  
波導(dǎo)和光纖 o|z
rD~&$  
7.w*+Z>z  
_"R3N  
4*@G&v?n  
JCMsuite為所有類型的波導(dǎo)（包括單模和多模光纖，光子晶體光纖，微結(jié)構(gòu)光纖，集成光波導(dǎo)，等離子體波導(dǎo)）計(jì)算波導(dǎo)模式和相應(yīng)的傳輸常數(shù)。 圓柱坐標(biāo)系和扭曲坐標(biāo)系中的模式計(jì)算允許嚴(yán)格計(jì)算波導(dǎo)彎曲的影響。