JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域 =CVw0'yZ  
*/\.-L{h  
現(xiàn)代納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象，了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。 7d<v\=J
}  
cpy"1=K~M  
計算光刻 kDz
.{Ih  
oby*.61?5l  
]SPB c  
~H$XSNPi  
JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈：對復(fù)雜照明的描述，通過光學(xué)成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計算，直至在光刻膠中形成圖像。 e56#Qb@$\  
v]J# SlF  
計算計量學(xué) U=t'>;(g  
I,S'zH
R  
- VE#:&  
g}D$`Nx:  
周期大于照明波長一半的結(jié)構(gòu)的光學(xué)計量已成為標(biāo)準(zhǔn)計量技術(shù)。 但是，快速嚴(yán)格的仿真技術(shù)以及設(shè)計好的測量裝備允許在深亞波長范圍內(nèi)使用光學(xué)計量方法。 |HEw~x<=  
N\fT6#5B  
波導(dǎo)和光纖 H|Nw)*.