JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域
;?8_G%va ~ vJ,`? 現(xiàn)代
納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計(jì)者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象,了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。
'7+4`E vU767/ 計(jì)算光刻
{5F-5YL+> _~piZmkG$ o| #Qu8Lk JKGc3j,+# JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈:對復(fù)雜
照明的描述,通過光學(xué)
成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計(jì)算,直至在光刻膠中形成圖像。
SzjkI+-$: huJ&]"C 計(jì)算計(jì)量學(xué)
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]i]7r 周期大于照明波長一半的結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量已成為標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量技術(shù)。 但是,快速嚴(yán)格的仿真技術(shù)以及設(shè)計(jì)好的測量裝備允許在深亞波長范圍內(nèi)使用光學(xué)計(jì)量方法。
G5CI<KRK# [/Rf\T(,jn 波導(dǎo)和
光纖 ,6om\9.E@ C}_ ojcR ynE)Xdh Q
aS\(_ JCMsuite為所有類型的波導(dǎo)(包括單模和多模光纖,光子晶體光纖,微結(jié)構(gòu)光纖,集成光波導(dǎo),等離子體波導(dǎo))計(jì)算波導(dǎo)模式和相應(yīng)的傳輸常數(shù)。 圓柱坐標(biāo)系和扭曲坐標(biāo)系中的模式計(jì)算允許嚴(yán)格計(jì)算波導(dǎo)彎曲的影響。
MOn a>GyO&+Dkg 光伏
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\4v]7SV JCMsuite支持各個(gè)方面提高光電效率:分析層結(jié)構(gòu)和材料成分的效率、隨機(jī)和微結(jié)構(gòu)層、背反射器和表面的影響、規(guī)則或隨機(jī)分布的等離子體粒子的等離子體效應(yīng)以及包括頻率轉(zhuǎn)換在內(nèi)的非線性效應(yīng)。
y~F,0"N\r 22.8PO0 光源 X&7F_#s /+@p7FqlE %O!