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摘要 D>jtz2y=D H 2I 分析特定衍射級的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當(dāng)，因此必須通過嚴(yán)格的方法計(jì)算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 " oxUKT
mH;t)dT
 4}D&=0IZ 4wKCz Py 光柵規(guī)格 W=
NX$=il G0: <#?<5 G$Y F0Nc
•為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 !N+{X\+
•操作中的層，提供高反射（HR）功能。 I;j H'._k#
•光柵參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 uD{-a$6z
/|U;_F Pmc
 @8J*vY =e "n3n-Y#' 光柵級次分析器設(shè)置 "8a
V~]~Dj T#rUbi>"" R|Bi%q|4P
•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級次分析器計(jì)算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。 ){/n7*#Th%
•此外，各種輸出選項(xiàng)可用于顯示結(jié)果。 ]gHrqi%
•這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊光學(xué)設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。 '`}D+IQ(j
wIRU!lIF9
 $ R ze[3 % }b 通用設(shè)置 9ox5,7ZQ |o eg'T )LG!"~qiz
•在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，您可以選擇分析透射或反射。 Jyd[Sc)
•此外，您可以指定光柵分析器輸出需要的文件。 d>J
+7ex+
−級次收集：生成一種類型的文檔，該文檔提供視場/光強(qiáng)在級次中的分布方式的可視化表示，并包含以數(shù)字形式顯示的信息。級次收集是為傳輸和反射單獨(dú)生成的。有關(guān)級次收集文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 b6e 2a/x
−單級次輸出：激活菜單右側(cè)的“單級次”選項(xiàng)卡。（見下頁） Ld:-S,2
−總和傳輸，吸收和反射：相應(yīng)的信息（即，能量在這三種效應(yīng)中如何分布，不進(jìn)一步將結(jié)果細(xì)分為單個(gè)光柵級次，而是作為總值）將顯示在探測器結(jié)果選項(xiàng)卡中，或作為參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化的結(jié)果。 'O
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