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- 注冊時間2020-06-19
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摘要 =t-503e.J ~#
|p=Y 分析特定衍射級的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當(dāng)，因此必須通過嚴(yán)格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 ]dIr;x `
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 o>Z+=&BZ@a .](s\6' 光柵規(guī)格 ^zaN?0%S33 bDPT1A`F 1Y Mu\(
•為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 RpY#_\^hI
•操作中的層，提供高反射（HR）功能。 Yt;.Z$i ,
•光柵參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 !b +Kasss9
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 n- _-;TYH Djf,#&j!3 光柵級次分析器設(shè)置 [HENk34 c8jq.y v Au/n|15->C
•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級次分析器計算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。 )Hy|K1
•此外，各種輸出選項可用于顯示結(jié)果。 D}Lx9cL
•這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊光學(xué)設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。 ZK]C!8\2|
C zvi':
 " GofQ5,| 2xd G&}$fa 通用設(shè)置 $Mp#tH28 1jozM"H7Q z 7J2O
•在“常規(guī)”選項卡中，您可以選擇分析透射或反射。 5<ycF_
•此外，您可以指定光柵分析器輸出需要的文件。 Sf\mg 4,
−級次收集：生成一種類型的文檔，該文檔提供視場/光強在級次中的分布方式的可視化表示，并包含以數(shù)字形式顯示的信息。級次收集是為傳輸和反射單獨生成的。有關(guān)級次收集文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 fhmq O0
−單級次輸出：激活菜單右側(cè)的“單級次”選項卡。（見下頁） RtR]9^:~
−總和傳輸，吸收和反射：相應(yīng)的信息（即，能量在這三種效應(yīng)中如何分布，不進(jìn)一步將結(jié)果細(xì)分為單個光柵級次，而是作為總值）將顯示在探測器結(jié)果選項卡中，或作為參數(shù)運行或參數(shù)優(yōu)化的結(jié)果。 a NCIh@m~
−極坐標(biāo)圖（角度）：生成另一個文檔，該文檔提供不同顯示光柵級次的可視化，其中顯示的角度對應(yīng)于級次的衍射角，半徑表示效率。這種類型的可視化僅限于單個平面。有關(guān)極坐標(biāo)圖文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 y(8AxsROp
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