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    [技術(shù)]光柵級次分析器 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-03-14
    摘要 }QrBN:a$(  
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    分析特定衍射級的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當，因此必須通過嚴格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 B7HNNX  
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    光柵規(guī)格 [\+"<;m$  
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    •為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 .H;[s  
    •操作中的層，提供高反射（HR）功能。 $3.hZx>  
    •光柵參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 =*<Cw?Gc  
    R{={7.As+  
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    光柵級次分析器設(shè)置 )\oLUuL`;  
    4L<h% 'Zn  
    Ne>yFl"u  
    •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級次分析器計算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。 3 ,;;C(  
    •此外，各種輸出選項可用于顯示結(jié)果。 -CePtq`  
    •這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊光學設(shè)置視圖中的相應元件顯示。 gT3i{iU  
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    Am>^{qh9  
    通用設(shè)置