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    [技術(shù)]光柵級(jí)次分析器 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-04-19
    分析特定衍射級(jí)的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當(dāng)，因此必須通過嚴(yán)格的方法計(jì)算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 nUvxO `2  
    6"W~%FSJX  
     w(9.{zF|vQ  
    oA&V,r  
    光柵規(guī)格 BZE~k?*  
    dEp?jJP$;  
    &` u<KKF6  
    •為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 @M-+-6+  
    •操作中的層，提供高反射（HR）功能。 +`x8[A)-  
    •光柵參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。 , ]'?Gd  
    :,=no>mMx  
     (SLAq$gvd  
    M"]~}*  
    光柵級(jí)次分析器設(shè)置 #U NTD4   
    #is:6Z,OEU  
    !RnO{FL  
    •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級(jí)次分析器計(jì)算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。 %Y` @>P'  
    •此外，各種輸出選項(xiàng)可用于顯示結(jié)果。 ,"u-V<>6O  
    •這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊光學(xué)設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。 5B? >.4R  
    :hG?} [-2  
     @l^=&53T  
    y.~y*c6,g  
    通用設(shè)置 \z<B=RT\